2016-09-27
特点：
★ 采用IGBT中频感应电源
★ 采用石英或高纯石墨坩埚
★ 采用高纯石墨和高等级硬质碳毡
★ 采用伺服控制下拉定向凝固
★ 伺服控制范围为0.03mm-3mm/min
★ 定向凝固速率：0.1mm-0.5mm/Min
技术参数：
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型号
Model
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有效区尺寸
（ mm ）
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装炉量
（Kg ）
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最高温度
（℃）
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均温性
（±℃）
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极限压力
（ Pa ）
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压升率
（Pa/h）
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充气压力
（ bar ）
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HZG-55
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φ500X500
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80
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1600
/
2000
|
5
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4.0 E -1
/
6.7 E -2
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0.67
|
0.8
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HZG-75
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φ700X500
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100
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HZG-95
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φ900X500
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240
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